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我省ITO靶材技术研发及产业化获国家重点支持

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摘要: 发布时间:
5月29日,国家发改委高技术司副司长任志武一行在广东省发展改革委员会主任张军、佛山市委副秘书长葛承书的陪同下来到广东凯盛光伏技术研究院有限有公司进行调研,实地考察了“高密度ITO靶材产业化”项目的进展情况并进行了座谈。蚌埠院党委副书记、广东凯盛总经理马立云接待调研组一行并参加座谈。
考察中,马立云介绍了广东凯盛的基本情况和公司在“高密度ITO靶材产业化”项目方面取得的阶段性成果:拥有多项自主知识产权,突破了多个工艺及设备技术瓶颈,现已进入小批量生产阶段。
座谈会上,项目技术负责人柴卫平对“高密度ITO靶材产业化”项目做了详细介绍。调研组就项目所取得的成果给予了充分肯定,并对ITO靶材项目寄于厚望,调研组专家表示发展具有我国自主知识产权的高密度ITO靶材生产技术,对提高我国平板显示产业的核心竞争力、完善平板显示产业链,有效利用铟资源,具有重大的战略意义。
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近日,在省发展改革委等部门的精心组织和积极争取下,国家发展改革委、财政部、工业和信息化部同意将725所高世代TFT-LCD和PDP用ITO靶材技术研发及产业化项目列入国家战略性新兴产业发展专项资金计划,给予4000万元国家补助资金支持。这标志着我省ITO靶材研发及产业化进入国家重点支持范围。

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我国铟基础储量为10000吨,占全球总量的60%以上,是全球最大铟生产国。但因缺乏铟的深加工高效利用技术,70%的铟出口日本制造平板显示的ITO靶材。日本垄断全球近80%的ITO靶材市场。我国平板显示行业中高端靶材年需求量约400吨,居世界第三位,几乎全部从日本、韩国进口。针对上述问题,725所组织实施的高世代TFT-LCD和PDP用ITO靶材技术研发及产业化项目,在已具备完全自主知识产权的高纯高活性纳米ITO粉末制备、湿法成型、氧压烧结和物理气化回收等核心技术基础上,实现高端ITO靶材的国内自主供应,对于突破我国平板显示产业技术瓶颈,改变铟低价出口再高价买回制品的被动局面,打破国外垄断具有重要意义。

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原创文接着昨天的话题,日韩关系向着继续恶化的方向发展,日本对韩国出口产品的限制,可能将从氟化聚酰亚胺、光刻胶和氟化氢三种扩大到数百种,高纯溅…

中富聚焦,陪关注A股的你一起成长

每交易日晚21:12准时分享

2019.8.6 / 第192篇 / 原创文

接着昨天的话题,日韩关系向着继续恶化的方向发展,日本对韩国出口产品的限制,可能将从氟化聚酰亚胺、光刻胶和氟化氢三种扩大到数百种,高纯溅射靶材或是下一个打击力最强的目标。

那今天我们来谈谈,高纯溅射靶材在两大应用领域——半导体、平面显示中,有哪些差异?谁的用量大?谁的要求高?

同时,按照应用的不同,我们聊聊当前我国高纯溅射靶材的发展状况,有哪些企业捷足先登突破了外围的技术封锁?谁有望成为国产替代的先进典型?

1、半导体对靶材纯度和技术要求最高

超高纯度溅射靶材是电子材料的重要组成部分!

新葡萄京娱乐场下载,溅射靶材产业链主要包括金属提纯、靶材制造、溅射镀膜、终端应用等环节。

靶材制造是整个溅射靶材产业链中的关键环节。

全球主流溅射靶材按照应用领域,可以分为半导体集成电路用靶材、平面显示用靶材、太阳能光伏用靶材、建筑及装饰用靶材等。

溅射靶材是电子信息产业起核心支撑作用的战略性材料,已成为电子信息产业的核心材料之一。

其中,半导体集成电路用的溅射靶材技术要求最高,最苛刻。

比如,半导体制造对溅射靶材金属纯度的要求最高,通常要达到99.9995%以上,而平板显示器、太阳能电池分别要求达到99.999%、99.995%以上即可。

除了纯度之外,芯片对溅射靶材内部微观结构等也设定了极其苛刻的标准。

厂商需要掌握生产过程中的关键技术,并经过长期实践,才能制成符合工艺要求的产品。

长期以来,我国半导体集成电路用靶材长期被日美等国的少数企业所垄断,如日矿金属、东曹、霍尼韦尔、普莱克斯等。其中日企占据国内50%以上的市场份额。

不过近年来,经过多年的科技攻关和产业化应用,国内已有高纯溅射靶材生产企业逐渐突破了国外的技术封锁,在关键技术领域打破日美等国垄断,开始具备向半导体、面板等下游企业供货的能力。

需要说明的是,由于靶材按材质分类分为金属靶材、陶瓷靶材、合金靶材,每一种材质又分为镍靶Ni、钛靶Ti、锌靶Zn、铬靶Cr、镁靶Mg等多达几十种。

半导体集成电路、平面显示等下游领域对于不同靶材的需求和用量各不相同,虽然部分靶材有交叉,但总体上各有侧重。

靶材企业一般也不会只生产几种或某一类靶材,很可能是同时给半导体企业和面板企业等不同下游供货。

因此,为了让大家对相关企业有更清晰的认识,以更好地把握投资机会,我还是按照半导体和面板对不同靶材需求的差异,大致做一下分类。

在半导体晶圆制造中,200mm及以下晶圆制造通常以铝制程为主,使用的靶材以铝、钛元素为主。

300mm晶圆制造多使用先进的铜互连技术,主要使用铜、钽靶材。

也就是说,在半导体集成电路用靶材中,以铝靶、铜靶、钛靶、钽靶等靶材的使用最为常见。

目前我国在这方面的技术最成熟,最先实现对下游用户的国产化替代。

这就不得不提这家率先打破了国外封锁、由海外高层次归国留学人员为核心创业团队所组建的高科技企业了。它的名字叫,江丰电子。

江丰电子是国内目前唯一从事集成电路芯片制造用超高纯度溅射靶材研发生产的基地,产品包括铝、钛、钽和钨钛靶极溅射材料。

公司产品具有完全自主知识产权,填补了国家的产业和技术空白,目前已成功批量进入中芯国际、台积电、格罗方德、京东方和华星光电等半导体和平板制造厂商供应链。

公司募投项目“年产400吨平板显示器用钼溅射靶材坯料产业化项目”的主要相关设备已完成安装调试,产线已试运行成功并投产,公司首套自主研发生产的高纯钼溅射靶材已顺利下线。

随着产能的不断扩大、募投项目的积极推进,公司有望进一步提升盈利能力及抗风险能力,进而巩固高纯溅射靶材领域的龙头地位。

铜靶方面,有研新材是全球第三家、中国唯一能够实现从超高纯铜原材料到超高纯铜及其合金靶材垂直一体化制备、且做到量产级别的铜靶生产企业。

公司还能够提供铝、钛、钽、钴、镍、金、银、铂等各类金属及其合金靶材。是台积电、中芯国际、GlobalFoundry、ONSEMI、NXP、长电科技、华天科技等一流半导体晶圆制造和先进封装企业的靶材供应商。

另外,公司是全球第二家、中国唯一能够为台积电提供先进制程用超高纯钴靶材的企业。目前,公司8寸产品已实现大批量供货,12寸各款产品已实现关键技术突破,多款12寸靶材在国内外知名半导体客户销售份额持续提升。

总的来看,江丰电子和有研新材在半导体集成电路用靶材领域都率先打破了国外垄断,是国内乃至国际半导体靶材行业的佼佼者,未来有望持续受益于半导体转移浪潮的历史性机遇!

2、面板领域对靶材的需求量最大

相较半导体集成电路用靶材,平面显示用靶材对纯度和技术的要求要低一些,是相对容易突破的领域,与此同时,平面显示用靶材在靶材下游领域中是用量最大的,可达到总需求的34%左右。

因此,平面显示用靶材也非常值得我们关注,未来机会相对会更大。全球面板产能也在向我国不断转移,目前我国已超越韩国成为全球最大的面板制造基地。

另外,在日韩冲突升级的背景下,韩国的三星、LG等面板企业不可避免会受到产能上的限制。

而我国的京东方、华星光电、深天马等面板企业可能以此为契机,进一步提升在全球的市占率,从而对平面显示用靶材形成具大的拉动作用。

那么,在几十种靶材中,哪些靶材在面板制造中的需求会更大呢?

据公开资料显示,平板显示用靶材主要品种有:钼靶、铝靶、铝合金靶、铬靶、铜靶、铜合金靶、硅靶、钛靶、铌靶和氧化铟锡靶材等。

其中,钼靶和ITO靶,在显示靶材中的采购金额占比达到70%-80%,是占比最高的。

而这两种靶材里,钼靶的国产化采购率最高,达到50%以上,已经真正实现量产和国产化替代。

因此,钼靶和ITO靶是我们研究平板显示用靶材最值得关注的对象

就钼靶来看,大尺寸的高纯钼溅射靶材是液晶平板显示器制造中的关键核心原材料,应用空间广泛,日常所用的彩电、智能手机、平板电脑等电子产品的屏幕都需要用到。

目前,隆华科技旗下的四丰电子是国内规模最大的钼靶生产企业,从最低2.5代到最高11代线,四丰电子都具备规模生产能力,实现了高纯钼靶材向三星
、LG、京东方、国星光电等国内外显示龙头的直接供货。在一些产线上,公司是唯一的国产供应商。

另外上节提到的,江丰电子“年产400吨平板显示器用钼溅射靶材坯料产业化项目”首套超高纯钼靶材已成功下线并投产,其生产的高纯钼靶材坯料品质优良。

不过,江丰电子的钼溅射靶材坯料产业化募投项目还需要根据规划进行设备购置、安装调试等后续投资和建设,以完成产线优化和产能扩充,产能的释放还需要一定的时间。

在ITO靶方面,作为有色金属氧化物,简称为ITO的氧化铟锡在平板上具有很好的导电性和透明性,还可切断对人体有害的电子辐射、紫外线及远红外线,是平板显示器制造的重要原料。柔性OLED需要高端ITO靶材。

我国作为ITO靶材最大需求国,需求量占全球25%,但长期以来,全球ITO靶制造行业呈现寡头垄断格局,市场主要由日矿金属、日本三井金属、三星康宁、韩国LT金属四家外企垄断。

近年我国逐步在ITO靶领域取得突破,比如,隆华科技旗下的晶联光电已率先成功通过国内几大主流面板厂商的品质认证并逐步开始批量供货。

其先后通过信利半导体2.5代线和京东方6代线、8.5代线等面板线的测试认证,成为国内较早一家在TFT领域获得客户认可并批量导入的ITO靶材生产商。

另外,株冶集团作为国内最大铟生产商,也是铟的深加工产品ITO靶材国家标准牵头起草单位。公司通过多年ITO靶材技术积累,已形成一定的技术领先优势,产品已销售到STN、TN和TP领域客户。

今年3月,公司株洲火炬特种高纯功能靶材项目正式开工,总投资10亿元,全力打造ITO靶材、钼靶材、铜靶材、钛靶材等液晶显示器使用的各种高端镀膜材料。项目建成后,将填补国内技术空白,并成为国内最大、种类最全的靶材生产基地。

值得注意的是,我国在铟的采选、冶炼方面处于世界顶尖水平,产量和品级堪称世界一流,全球近80%的高质量铟来自中国。

ITO靶材作为铟的重要下游领域,占据铟消费的70%以上。株冶集团是全国乃至全球最大的铟业龙头,在发展ITO靶材方面具有非常好的先天资源优势,未来值得我们关注。

此外,阿石创、贵研铂业也都在平面显示用靶材领域有一定突破。

阿石创目前已经完成了京东方、群创光电、天马微电子、维信诺科技、国显科技及信利显示等优质面板行业客户的供应链导入,还逐步切入到半导体用靶材领域。

综合平面显示用靶材需求最大的钼靶和ITO靶来看,隆华科技旗下两家公司分别在钼靶和ITO靶处于领先水平,应该说,隆华科技是当之无愧的平面显示用靶材龙头。

但公司面临的一个突出问题是,研发投入相对不足!去年,公司研发投入6004万元,仅占营收3.73%。而超高纯溅射靶材属于典型的技术密集型产业,若后期研发跟不上下游客户的要求,公司产品可能会逐步失去竞争力!

株冶集团虽然在ITO靶材领域有先天资源优势,问题是,公司仍以传统有色金属为主,ITO靶材业务在主营中占比较少,对公司业绩弹性的贡献不太大。

在全球面板产能向我国不断转移的大背景下,目前我国面板产能全球领先,未来几年随着我国高世代线全面批量产业化,关键原材料钼靶、ITO靶的需求将不断增大。

靶材厂商们将望迎来非常好的国产替代机遇,真心希望以隆华科技、株冶集团、阿石创、贵研铂业等为代表的本土平面显示用靶材企业,能够抓住这波机会拾级而上!

数年,甚至十数年的努力,便是为了等开花结果的那一天!

❤本文完❤ 点文末的“在看”支持一下,谢谢!

▼拓展阅读▼

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百傲化学 | 生益科技② | 深圳华强 | 生益科技① | 双星新材② | 双星新材① |
金风科技② | 金风科技① |坤彩科技② | 蓝焰控股 | 坤彩科技① | 杰克股份 |
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